シリコン・半導体

シリコン基板 応力分布のラマンイメージング

シリコン(Si) ひずみ・応力評価

非晶質Ge薄膜 Au誘起結晶成長のその場観察

InGaN/GaN PL(フォトルミネッセンス）分析

薄膜シリコン粒界のラマン観察

ポリシリコン 多結晶Si薄膜の結晶性評価

SiC シリコンカーバイドの応力評価

SiCウエハー 全面の結晶多形ラマンイメージング