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シリコン基板 応力分布のラマンイメージング
シリコン(Si) ひずみ・応力評価
非晶質Ge薄膜 Au誘起結晶成長のその場観察
InGaN/GaN PL(フォトルミネッセンス)分析
薄膜シリコン粒界のラマン観察
ポリシリコン 多結晶Si薄膜の結晶性評価
SiC シリコンカーバイドの応力評価
SiCウエハー 全面の結晶多形ラマンイメージング